用途:
生产电子半导体,半导体制造,电子元件制造(蒸,溅,蚀刻,后工程装置等)。
与一般产业(吸附搬运、气体置换、封装废气、灭菌等)。
研究开发,环境试验机等
SR-500,SR-800,SR-1500B,SR-20BII,SR-30BII,SW-50SC真空泵,SR-37BII,SR-60BII,SR-75BII,真空泵,SRP-15000B油回转真空泵SHINKOSEIKI神港精机
工作原理
在轴固定的旋转转子,旋转的事,泵的气缸内部产生空间。结果,从吸入口到气缸内部的空间,气体进入。然后转子旋转的事,作为汽缸活塞、活塞缸和叶片的空间的气体,移动到压缩的空间,通过排气阀,油箱内部被排出。
特长:
1.耐压大,寿命长
2.排气特性好操作简单
3.能处理水蒸气
4.安装气镇阀,防止凝结性蒸气凝结油和混浊泵性能下降,
可处理凝结性蒸气。
SMB-200,SMB-C06,SMB-C15,SMB-C25,SMB-5000,SW-AS真空泵,SMB-10000
SMB-100D,真空泵SW-100AS,SMB-300D,SMB-600D,机械增压泵SHINKOSEIKI神港精机
构造 原理
平行的2根轴有2个平衡的蚕茧式转子固定,用电动机驱动。
转子旋转,从吸入口进入的气体被关在了壳和转子的空间,
从排气口连续的排出,制造效率很好。
特长:
排气特性很好。
操作简单维护也*。
**命。
小型,低振动。
可以得到清洁的真空。
采用安全的卧式。